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气体离子源气体离子源
气体离子源:可以将气体电离,将其变为离子,通常用于产生:N+、O+、Ar+、H+等。 我们的气体离子源有ECR离子源和考夫曼离子源两种。
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金属离子源金属离子源
金属离子源:可将固态金属和导电非金属材料变为离子,通常用于产生:Cr+、C+、Fe+、Ti+、Ni+、Au+等。
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复合离子源复合离子源
  我公司最新研制生产的复合离子源,可以同时产生金属离子和气体离子,能够在一个离子源上实现气体和金属两种离子的同时注入。
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