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离子注入、离子注入机、离子源、表面处理
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金属离子源

金属离子源:可将固态金属和导电非金属材料变为离子,通常用于产生:Cr+C+Fe+Ti+Ni+Au+等。我们采用的金属离子源为MEVVA离子源,它具有离子纯度高,束流强度大,束流容易发散的特点,特别适合材料的表面处理